電子束蒸發鍍膜機

電子束蒸發鍍膜機
電子束蒸發係統是化合物半導體器件製作中的一種重要工藝技術。它是在高真空狀態下由電子束加熱坩堝中的金屬，使其熔融後蒸發到所需基片上形成金屬膜。可蒸發很多難熔金屬或者蒸汽壓低的金屬材料，包括Ta, W, Mo, Rh, C, B, Pt, Al2O3, ZnO, Pr2O3…VS5電子束蒸發鍍膜機是英國牛津真空公司生產，台式設計、軟件自動操控、高性價比，非常適合實驗室科研使用。

技術規格：
- 基底尺寸：3英寸，4英寸，6英寸；
- 基底旋轉：0~10rpm；
- 電子束源：Telemark電子束源，單袋或多袋電子束源可選；
- 熱蒸發源：多配置2套熱蒸發舟(選配)；
- 腔體(ti) ：不鏽鋼或石英腔體(ti) 可供客戶選擇；
- 泵：前級幹泵，分子泵；
- Load Lock樣品傳(chuan) 輸腔室：手動或自動傳(chuan) 輸，高真空，支持多種樣品襯底(選配)；
- 工藝控製：PC/PLC機製的自動控製、數據處理、遠程支持；
- 原位監控：石英晶振監測(QCM)，光學監測，殘餘(yu) 氣體(ti) 分析，其他原位監測技術或控製；
- 襯底固定：單襯底固定，客戶化襯底固定方式；
- 襯底夾具：加熱，冷卻，偏置，旋轉等；