電阻式熱蒸發鍍膜機

電阻式熱蒸發鍍膜機

VS5電阻式熱蒸發鍍膜機是英國牛津真空公司生產(chan) ，台式設計、軟件自動操控、高性價(jia) 比，非常適合實驗室科研使用。 通過加熱蒸發某種物質使其沉積在固體(ti) 表麵，稱為(wei) 熱蒸發鍍膜，熱蒸發鍍膜技術是曆史悠久的PVD鍍膜技術之一。熱蒸發鍍膜機一般主要用於(yu) 蒸發Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。以下為(wei) 蒸發鍍膜設備的示意圖。

VS5電阻式熱蒸發鍍膜機是英國牛津真空公司生產(chan) ，台式設計、軟件自動操控、高性價(jia) 比，非常適合實驗室科研使用。
通過加熱蒸發某種物質使其沉積在固體(ti) 表麵，稱為(wei) 熱蒸發鍍膜，熱蒸發鍍膜技術是曆史悠久的PVD鍍膜技術之一。熱蒸發鍍膜機一般主要用於(yu) 蒸發Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。以下為(wei) 蒸發鍍膜設備的示意圖。

                           
技術規格：
- 基底尺寸：3英寸，4英寸，6英寸；
- 基底旋轉：0~10rpm；
- 熱蒸發源：電阻式熱蒸發舟，交流電源；
- 腔體(ti) ：不鏽鋼或石英腔體(ti) 可供客戶選擇；
- 泵：前級幹泵，分子泵；
- Load Lock樣品傳(chuan) 輸腔室：手動或自動傳(chuan) 輸，高真空，支持多種樣品襯底(選配)；
- 工藝控製：PC/PLC機製的自動控製、數據處理、遠程支持；
- 原位監控：石英晶振監測(QCM)，光學監測，殘餘(yu) 氣體(ti) 分析，其他原位監測技術或控製；
- 襯底固定：單襯底固定，客戶化襯底固定方式；
- 襯底夾具：加熱，冷卻，偏置，旋轉等；