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QRUI-1係列探針台產(chan) 品簡介:
QRUI-1係列探針台是我司一款基於(yu) 高校教育與(yu) 實驗室而研發的基礎型晶圓測試探針台。其結構緊湊 ,設計精密 ,價(jia) 格實惠 ,在高等院校教學和小型實驗室科研過程中得到廣泛運用。配合對應的儀(yi) 器儀(yi) 表,可以用於(yu) 測試各類器件的 IV/CV,PIV,光電信號等。也可以放置於(yu) 手套箱內(nei) ,配合特殊氣氛使用。一般適用於(yu) 學校和工廠小型實驗室。
QRUI-1係列探針台產(chan) 品優(you) 勢:
1.探針台與(yu) 顯示器一體(ti) 化設計 ,大大減小了設備的占地空間
2.具備自適應減震係統 ,一定程度上可防止外界震動的幹擾
3.U 型平台鍍鎳設計,不僅(jin) 增大了針座的加載空間 ,還提高了針座平台和針座之間的吸附力
詳細參數:
產(chan) 品型號
技術參數 | QRUI-1-100 | QRUI-1-150 | QRUI-1-200 | QRUI-1-300 | |
探針台 本體(ti) | 電壓電流(可定製) | 500V/1A(標準) | 500V/1A(標準) | 500V/1A(標準) | 500V/1A(標準) |
材料 | 航空鋁 | ||||
自適應減震係統 | 具備自適應減震係統 , 一定程度上可防止外界震動的幹擾 | ||||
卡盤大小 | 4 英寸 ,360 度轉動 ,可微調 | 6 英寸 ,360 度轉動 ,可微調 | 8 英寸 ,360 度轉動 ,可微調 | 12 英寸 ,360 度轉動 ,可微調 | |
卡盤行程和精度 | 4 英寸*4 英寸 ,精度 2um | 6 英寸*6 英寸 ,精度 2um | 8 英寸*8 英寸 ,精度 2um | 8 英寸*8 英寸 ,精度 2um | |
卡盤吸附方式 | 真空吸附 , 可選擇環形吸附或者多孔吸附 (適用於(yu) 薄片或者射頻器件) | ||||
背電極測試功能 | 具備 ,樣品台電學獨立懸空 ,帶 4mm 香蕉頭插口 | ||||
針座平 台 | 材質 | U 型平台 ,鍍鎳 ,與(yu) 探針座之間具備更強吸附力 | |||
大小 | 最多可放置4個(ge) 探針座 | 最多可放置6個(ge) 探針座 | 最多可放置8個(ge) 探針座 | 最多可放置12個(ge) 探針座 | |
顯示係 統 | 顯微鏡 | 體(ti) 式顯微鏡/視頻顯微鏡 (注意視場) +CCD成像係統 | |||
倍率範圍 | 15X~200X/60X~420X | ||||
調焦範圍 | 50.8mm | ||||
顯微鏡移動 | 顯微鏡可繞立柱360度旋轉 ,帶2英寸高精度顯微鏡調焦機構 ,帶顯示器支架 | ||||
CCD 成像係統 | 200 萬(wan) /500萬(wan) 像素 ,幀率 60fps ,帶拍照/錄像/測量功能等功能 | ||||
探針座 | 種類 | DMP-200/100/80/75 | |||
X-Y-Z 行程 | 12mm-12mm-12mm | ||||
機械精度 | 0.5um/0.7um/2um/3um | ||||
夾具 | 漏電精度 | 10pA/100fA/20fA | |||
接口形式 | 香蕉頭/鱷魚夾/coax/triax接口/SMA/裸線等 | ||||
其它 | 選件 | 屏蔽箱/防震桌/射頻/同軸/三軸加熱卡盤/顯微鏡萬(wan) 向支架等 | |||
電力需求 | 220V/50HZ,10A |
詳細配置方案可討論後給出