開爾文探針（Kelvin Probe）是一種非接觸無損震蕩電容裝置，用於(yu) 測量導體(ti) 材料的功函數（Work Function）或半導體(ti) 、絕緣表麵的表麵勢（Surface Potential）。材料表麵的功函數通常由上層的1-3層原子或分子決(jue) 定，所以開爾文探針是一種的表麵分析技術。主要型號：KP020 （單點開爾文探針），SKP5050（掃描開爾文探針）。