牛津電子束鍍膜機是化合物半導體器件製作中的一種重要工藝技術。它是在高真空狀態下由電子束加熱坩堝中的金屬，使其熔融後蒸發到所需基片上形成金屬膜。
1、定期清潔真空室並盡量抹幹，每次都*洗幹淨，以免造成越來越難洗的現象。烘幹後再鍍膜，頭一爐應比原來延長四倍時間才鍍膜。
2、定期更換擴散泵油，更換真空泵及羅茨泵油。更換擴散泵油前一定要確認真空度是否低於1X102Pa，擴散泵裏麵的油溫是否*冷卻到常溫狀態後，方可進行加熱或充大氣進行拆卸，否則會產生傷害人的嚴重後果。
3、平時整個係統要保持真空狀態，工作前才充入氣體，不要使真空室長期暴露在大氣中。
4、牛津電子束鍍膜機經常檢查膠封是否良好，特別是動密封圈，定期給動密封處加上真空脂。
5、定期檢查電氣元件，清除灰塵，更換燒壞的元器件。
6、在真空狀態下不得拆卸擴散泵和閥門。拆卸的方法是：先將整個真空係統抽至真空狀態，注意不要加熱擴散泵，用手動打開精抽閥，然後按放氣閥按鈕讓係統充入大氣，當真空室充滿大氣後就可進行拆卸擴散泵和閥門。
7、停旋片泵、滑閥泵時，要注意電磁閥(或氣動閥)是否向泵腔充氣，否則會引起回油，汙染真空管道。因此，電磁閥(或氣動閥)充氣動作失靈時，必須及時進行修理或更換。
8、對於偏北地區，在寒冷季節，夜間和較長時間停機時，必須用壓縮氣體將冷卻水趕出冷卻管道、泵體，以免凍裂冷卻水管(套)和泵體。
9、精抽係統要待真空壓強達到3Pa後才能工作，若在過高的壓強下進行抽氣，會使擴散泵油氧化，降低抽氣能力，縮短泵油的使用壽命。
10、為保證真空鍍膜設備有清潔的工作環境，滑閥泵排出的氣體必須用管道將它排出工作房之外，因為從滑閥泵排出的氣體含有很多微小的油霧會汙染被鍍的工件，嚴重影響膜層的質量。
11、牛津電子束鍍膜機在工作過程中不得斷水，采用的冷卻水必須清潔，不得使用硬水或濁水作為冷卻水，否則會使冷卻水管沉積一層水垢，影響冷卻效果。
