進口探針台是指應用於晶圓製造完成後至封裝之前的晶圓測試環節的一種半導體測試設備,起到晶圓輸送與定位的作用,實現半導體芯片的電、光參數檢測。
探針台的操作流程主要可以分為晶圓移動、定位探針卡、載片對針等。在完成晶圓測試後,探針台將記錄參數特性不符合要求的芯片,並在進入後續工序前予以剔除,以保障產品質量與可靠性,降低器件產品的製造成本。
進口探針台常見的分類標準包括按操作方式分類、按功能分類、按晶圓尺寸分類等,其中按操作方式可以分為手動、半自動以及自動,按功能可以分為高低溫、射頻、LCD平板、霍爾效應、表麵電阻率等,按晶圓尺寸可以分為8英寸、12英寸等。
探針卡主要由PCB、中介層、探針頭和探針構成。PCB線路層數因探針數量的增多而增多,因此需要有很好的抗幹擾特性,以保證電信號不被噪音影響。中介層在探針卡中起到線路放大的作用,探針Pitch通常在80um,部分產品Pitch可達50um,因而無法直接與PCB連接,需要通過中介層將探針對外連接的線路放大進而實現和PCB的連接。探針頭主要用於固定探針。
進口探針台測試座主要由探針、浮動板、後蓋等材料組裝集合而成;測試座的技術壁壘極低,國內廠商主要是華南地區的低端電子零部件製造商;測試座按照不同的被測產品可以分為:USB測試座、CMOS模組測試座、RF射頻測試夾具、老化測試座、SD測試座等。