電子束蒸發源是利用熱陰極發射電子在電場作用下成為高能量密度的電子束直接轟擊到鍍料上。動能轉化為熱能，使鍍料加熱汽化，完成蒸發鍍膜。
真空中製備膜層可防止膜料和鍍件表麵的汙染，消除空間碰撞，提高鍍層的致密性和可製備單一化合物的特殊功能的鍍層。
電子束鍍膜機為了提高鍍層厚度的均勻性，鍍在真空室中夾有行星機構或旋轉運動的裝置，如一個行星的運動模式，運動模式的膜均勻性好，鍍層的台階覆蓋性能好，承載能力大，可充分利用有效空間的真空鍍膜室，是一個運動的常用模式。排氣係統一般由機械泵，擴散泵，管道和閥門組成。為了提高泵的流量，可以添加增壓器之間的機械泵和擴散泵。
因此，不僅在較短的時間內低壓力以保證快速的工作循環的排氣係統，還需要確保氣體的蒸發源和蒸鍍工件表麵產生快速的去除。
電子束鍍膜機是專業在塑料表麵進行蒸發鍍鋁的特別設備，它成膜速率快，膜層牢固，色澤鮮亮，膜層不易受汙染，電鍍設備可獲得致密性好、純度高、膜厚均勻的膜層，不產生廢液、廢水，可避免對環境的汙染，是大規模生產的理想設備。設備應用廣泛，主要有汽車反光網、工藝品、首飾、鞋帽、鍾表、燈具、裝飾等行業。
電子束鍍膜機的優點：
1、電子束加熱比電阻加熱具有更高的通量密度，可以蒸發高熔點材料，如W、Mo、Al2O3等，並可得到較高的蒸發速率；
2、被蒸發材料置於水冷銅坩堝內，電子束鍍膜機可避免坩堝材料汙染，可製備高純薄膜；
3、電子束蒸發粒子動能大，有利於獲得致密、結合力好的膜層。
